µ¶ÀÏ µðĪ°Õ¿¡ ÀÖ´Â Æ®·³ÇÁ °øÀå¿¡¼ ASML EUV¿¡ µé¾î°¡´Â ·¹ÀÌÀú Àåºñ¸¦ ÀÛ¾÷ÀÚ°¡ Å×½ºÆ®Çϰí ÀÖ´Ù. Æ®·³ÇÁ
µ¶ÀÏ ÀÚµ¿Â÷ »ê¾÷ ½ÉÀåÀ¸·Î ²ÅÈ÷´Â µµ½Ã ½´ÅõÆ®°¡¸£Æ®. À̰÷¿¡¼ Â÷·®À¸·Î ºÏ¼ÂÊ 30ºÐ°¡·® ¶³¾îÁø ¼Òµµ½Ã µðĪ°Õ¿¡´Â ¼¼°è ÃÖ°í ·¹ÀÌÀú ±â¾÷À¸·Î ¼Õ²ÅÈ÷´Â Æ®·³ÇÁÀÇ °øÀåÀÌ ÀÖ´Ù.
Æ®·³ÇÁ´Â Áö³ 15ÀÏ(ÇöÁö½Ã°£) Çѱ¹°ú ÀϺ», ´ë¸¸ ¾ð·ÐÀ» ÃÊÃ»ÇØ ¼¼»ó¿¡¼ °¡Àå Æ¯¼öÇÑ ·¹ÀÌÀú Àåºñ Á¦Á¶ ÇöÀåÀ» °ø°³Çß´Ù. À̰÷¿¡ µé¾î°¡±â À§Çؼ ±âÀÚµéÀº ¹æÁøº¹À» ÀÔ¾î¾ß Çß´Ù. ÀÌ ·¹ÀÌÀú »ý¼º ¸ðµâÀº ÷´Ü ±â¼ú °áÁ¤Ã¼ÀÎ ASMLÀÇ EUV(±ØÀڿܼ±) ³ë±¤Àåºñ¿¡ µé¾î°¡±â ¶§¹®ÀÌ´Ù. EUV Àåºñ´Â Áß±¹ ¹ÝµµÃ¼ ±â¼ú ¹ßÀüÀÌ ´õµò °¡Àå Å« º´¸ñ Áö¡£À¸·Î ²ÅÈù´Ù.
Æ®·³ÇÁÀÇ ·¹ÀÌÀú°¡ ¹ÝµµÃ¼ ȸ·Î¸¦ ±×¸®´Â ¹Ì¼¼ °øÁ¤¿¡ Àû¿ëµÇ´Â °úÁ¤Àº ±× ÀÚü°¡ °úÇÐÀûÀÎ °æÀÌ´Ù. ÃÊ´ç 5¸¸ ¹æ¿ïÀÌ ¶³¾îÁö´Â ÁÖ¼® ¹æ¿ï¿¡ 2°³ÀÇ ·¹ÀÌÀú°¡ Â÷·Ê·Î ¹ß»çµÈ´Ù. ù ·¹ÀÌÀú´Â µ¿±×¶õ ÁÖ¼® ¹°¹æ¿ïÀ» ¿ø¹Ý ÇüÅ·Πº¯È½ÃŲ´Ù
¸ð¹ÙÀÏ ¹Ù´ÙÀ̾߱â°ÔÀÓ ´Ù¿î·Îµå
. ÀÌ¾î µÎ ¹øÂ° ·¹ÀÌÀú°¡ ÀÌ ¿ø¹Ý¿¡ ¹ß»çµÇ¸é 50¸¸µµ±îÁö ¿Âµµ°¡ ¿Ã¶ó°¡¸é¼ Çö󽺸¶ Çö»óÀÌ ¹ß»ýÇÑ´Ù. ÀÌ Çö󽺸¶¿¡¼ 13.5§¬ ÆÄÀåÀÇ ±ØÀڿܼ±ÀÌ ¸¸µé¾îÁø´Ù.
À̰÷¿¡¼ ¸¸³ º£¸£ÅçÆ® ½´¹ÌÆ® Æ®·³ÇÁ ÃÖ°í±â¼úÃ¥ÀÓÀÚ(CTO)´Â "ASML°ú ÇÔ²² ·¹ÀÌÀú Ãâ·ÂÀ» 800W·Î ³ôÀÌ´Â ±â¼úÀ» °³¹ßÇϰí ÀÖ´Ù"¸ç "À̸¦ ÅëÇØ EUV ³ëÃâ½Ã°£À» Å©°Ô ÁÙÀÏ ¼ö ÀÖ´Ù"°í ¼³¸íÇß´Ù. ¿þÀÌÆÛ´ç EUV ³ëÃ⠽ð£ÀÌ ÁÙ¾îµé¸é ¹ÝµµÃ¼ »ý»ê·®µµ ¸¹ÀÌ ´Ã¾î³ª°Ô µÈ´Ù.
Çö󽺸¶ Çö»óÀ¸·Î »ý¼ºµÈ ±ØÀڿܼ±Àº ¿©·¯ °³ÀÇ °Å¿ï¿¡ ¹Ý»çµÅ ¹ÝµµÃ¼ ȸ·Î¸¦ ±×¸®´Â µ¥ »ç¿ëµÈ´Ù. ÀÏ¹Ý °Å¿ï¿¡¼´Â Àڿܼ±ÀÌ Èí¼öµÇ±â ¶§¹®¿¡ ¿øÀÚ ´ÜÀ§ÀÇ Á¤¹ÐÇÑ ±¼°îÀ» °¡Áø °Å¿ïÀÌ ÇÊ¿äÇÏ´Ù. ÀÌ °Å¿ïÀ» ¸¸µå´Â ȸ»ç°¡ ·»Áî·Î À¯¸íÇÑ µ¶ÀÏ Ä® ÀÚÀ̽º´Ù. Ä® ÀÚÀ̽º °øÀåÀº µðĪ°Õ¿¡¼ 1½Ã°£°¡·® ¶³¾îÁø ¿À¹öÄÚÇî¿¡ ÀÖ´Ù.
¾Ë¶óµò²Ç¸Ó´Ï
¿À¹öÄÚÇî º»»ç¿¡¼ ¸¸³ Å丶½º ½´Å½·¯ Ä® ÀÚÀ̽º CTO´Â "EUV¿¡ »ç¿ëµÇ´Â Ä® ÀÚÀ̽ºÀÇ °Å¿ïÀº ±âÁ¸¿¡ ¿ìÁÖ¸Á¿ø°æÀ» ¸¸µå´Â µ¥ »ç¿ëµÇ´Â ±â¼úÀ̾ú´Ù"¸ç "ÀÌ ±â¼úÀ» ÇÏ·ç¿¡µµ ¼ö¹é ÀåÀÇ ¿þÀÌÆÛ¸¦ ó¸®ÇÏ´Â ¾ç»ê °úÁ¤¿¡ »ç¿ëÇÒ ¼ö ÀÖ°Ô µÈ °Ô ³î¶ó¿î ºÎºÐ"À̶ó°í ¼³¸íÇß´Ù.
µ¶ÀÏ ¼ÒºÎÀå ±â¾÷ 3»ç´Â ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷À» ¹Ì·¡ ¼ºÀå »ê¾÷À¸·Î º¸°í ¸¹Àº ÅõÀÚ¸¦ Çϰí ÀÖ´Ù. ¸ÓÅ©´Â ¼¼°è ´ëÇ¥ ÈÇÐ ±â¾÷ Áß Çϳª·Î ÇコÄɾî¿Í »ý¸í°úÇÐ ºÐ¾ß ºñÁßÀÌ ¿©ÀüÈ÷ ³ôÁö¸¸ ¸¹Àº Àμö¡¤ÇÕº´À» ÅëÇØ ÃÖ±Ù ÀüÀÚ »ç¾÷À» °ÈÇß´Ù. Çѱ¹ ³» Àη¸¸ 1800¸í¿¡ ´ÞÇÑ´Ù.
Ä® ÀÚÀ̽ºÀÇ °æ¿ì 2024³â ±âÁØ Àüü ¸ÅÃâÀÇ 38%°¡ ÀÌ¹Ì ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶ »ç¾÷ ºÎ¹®¿¡¼ ³ª¿À°í ÀÖ´Ù. ASMLÀÇ EUV¿Í DUV(½ÉÀڿܼ±) Àåºñ¿¡ ºÎǰÀ» °ø±ÞÇÏ´Â °Í ¿Ü¿¡µµ ÀÚü Æ÷Å丶½ºÅ© Àåºñ³ª 3D ¹ÝµµÃ¼ °ü·Ã Àåºñ¸¦ ¸¸µé°í ÀÖ´Ù. °í°´µé°úÀÇ Çù·Â °È¸¦ À§ÇØ Áö³ 7¿ù À̳뺣ÀÌ¼Ç ¼¾Å͸¦ ¼¼°è ÃÖÃÊ·Î Çѱ¹¿¡ ¼³¸³Çß´Ù. Æ®·³ÇÁµµ Àüü ¸ÅÃâ 43¾ïÀ¯·Î Áß 10¾ïÀ¯·Î Á¤µµ°¡ ¹ÝµµÃ¼ ºÎ¹® °í°´¿¡°Ô¼ ³ª¿À°í ÀÖ´Ù.
ÅõÀÚ¸¦ Çϰí ÀÖ´Ù.